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作者: admin 来源: 未知 发布时间:2020-01-02 01:13

  美国EG&GIC传感器建立了MEMS加工生产线型主要用于汽车安全系统,敏感芯片与信号自理芯片封装在表面贴装的外壳内。

  微加速度计正替代以往的机电式加速度传感器,并伴随着汽车安全气囊系统日趋普及而高速增长。一对母女非法经营25种儿童成人用二类疫苗

  微机械陀螺微机械陀螺是一种振动式角速率传感器,在汽车领域的应用开发倍受关注,主要用于汽车导航的GPS信号补偿和汽车底盘控制系统,应用潜力极大。

  微机械陀螺中有两个振动模式,一个是横向振动模式,即驱动振动模式,通常称为参考振动,在科氏力作用下会产生附加运动,另一个是法向振动模式,即敏感振动模式,对反映科氏力的附加运动的检测,获得包含在科氏力中的角速率信息。

  按所用材料,微机械陀螺分为石英和硅振动梁两类,石英材料结构的品质因数Q值高,陀螺特性好,有实用价值,是早产品化的,美国德尔科、BEI采用MEMS技术,批量生产单轴、三轴固态石英压电陀螺,可用于汽车、导航、飞机、航天等市场上。即使微小的压力波动也能够迅速被检测到出色的耐过压性能

  硅材料结构完整,弹性好,比较容易得到高Q值的微机械结构,随着深反应离子刻蚀技术的出现,体硅微机械加工技术的加工精度显著,在硅衬底上用多晶硅制作适宜批量生产,驱动和检测较为方便,成为当前低成本研发的主流。

  从硅微机械陀螺的结构上,常采用振梁结构、双框架结构、平面对称结构、横向音叉结构、梳状音叉结构、梁岛结构等,用来产生参考振动的驱动方式有静电驱动、压电驱动和电磁驱动等,而检测由于科氏力带来的附加振动的检测方式有电容检测、压电检测、压阻检测。并利用这一能力对此系统的多传感器进行建模

  现有的硅微机械陀螺产品的性能不高,精度一般在0.1?/s的水平,只能满足汽车应用要求,但要获得大量应用,还需解决测量电路和封装稳定性、性、价格等诸多问题。

  MEMS传感器的产业化全球汽车电子化及汽车计算机控制系统的兴起,推动了汽车MEMS传感器的发展。

  在汽车上所有系统中,几乎都能找到MEMS的用武之地,车越好,所用的MEMS就越多。不仅能够保持美观

  BMW740i汽车上就有70多只MEMS,德国海拉集团在欧洲市场提供250种汽车传感器,很多传感器可用MEMS替代。

  据报道,2000年汽车MEMS传感器的销售额为12.6亿美元,预计2004年将增长到23.5亿美元,有人预测其市场增长大,总之,在今后的汽车传感器中会进一步占有大的份额。

  MEMS传感器的大批量高精度生产和高性及单价廉价,特别适宜在汽车电控系统中应用,博世以产品系列完整性而引以为荣,汽车MEMS传感器超过35种型号。理论上无寿命极限抗恶劣环境40至100工作温度范围

  近几年,随着计算机成本的下降和微处理器体积的缩小,无线传感器网络越来越受到人们重视。

  风险家依然青睐MEMS,被视为新兴工业,2001年1季度对MEMS5.1亿美元,一些新建MEMS工厂即将投入生产,另一些半导体厂家也将相继加盟,美国已成立MEMS工业组织,将会进一步推动其发展。

  汽车MEMS传感器所用材料从单晶硅、多晶硅、石英晶体向其它新型材料发展,例如,采用巨磁电阻材料研制用量很大的制动防抱死系统的轮速传感器,以期替代现在使用的变磁阻式传感器。

  生产工艺上开发出非硅基加工的微电火花加工、微电铸、激光加工、表面贴装等技术,硅基加工技术也有多种发展。

  在国内,MEMS传感器的基础性科研开发取得显著成果,但尚未具备大批量生产的能力,与国际上的产业化存在相当差距。耐高温型,从120℃到耐超高温250℃,适合冶金行业及汽车涂装车间等。而随着水力压裂等非传统钻井技术的兴起

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